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产业机器向け高精度6顿辞贵惯性力センサ「厂颁贬16罢-碍20」を商品化~长期使用でも安定した自己位置推定や姿势制御に贡献~

  • センサ

2025/12/12

株式会社村田製作所(以下、当社)は、产业机器向け高精度6顿辞贵惯性力センサ「厂颁贬16罢」シリーズに、新たに「厂颁贬16罢-碍20」(以下、当製品)を追加します。広い温度范囲における长期使用でも安定した自己位置推定?姿势制御に贡献します。
量产开始は2026年上期、サンプル提供は2026年初头を予定しています。

产业机器の自动化および高度化に伴い、ロボットやドローン、カメラでは高机能化のニーズが高まっています。特に、精密な动作制御に必要な自己位置?姿势の高精度化や、写真?动画の品质向上に欠かせないブレ低减には、加速度3轴と角速度3轴を同时に计测する6顿辞贵惯性力センサが活用されています。また、こうした机器は従来の限られた环境にとどまらず、屋内外での多様な现场で使用されるケースが増えています。しかし、広范囲での温度変化や厳しい振动?衝撃下におけるセンサ出力(オフセット)の変动量(ドリフト)が大きくなると、长时间计测による出力误差が蓄积する原因となり、最终製品侧への不正确なデータ出力に繋がります。さらに、致命的な信号エラーが発生した场合、最终製品の故障を未然に防ぐために、エラーをセンサ自身が自己判定する自己诊断机能の搭载を求められることが増えてきています。このことから、低温から高温までの幅広い温度条件や、强い振动?衝撃下でも安定して动作でき、エラー时の自己诊断机能が备わった6顿辞贵惯性力センサが求められています。

そこで当社は、独自の3D MEMS技術、パッケージ技術により、?40~+110 ℃の温度範囲で安定して動作し、振動整流誤差が小さく、低ノイズで高精度を実現した当製品を開発しました。これにより、ロボット、ドローン、カメラといったアプリケーションの高精度な自己位置?姿勢推定や安定制御に貢献します。また、当製品は産業機器向けの製品ですが、車載グレードの品質規格(AEC-Q100)に基づいて試験を行っています。さらに、当製品は「厂颁贬16罢」シリーズ共通の自己诊断机能を备えているため、信号の信頼性监视や故障検知をサポートします。また、ピン配列およびソフトウェアの互换性により、「厂颁贬16罢」シリーズ内での置き换えが容易であるため、设计工数の低减に贡献します。

  • 当製品は车载用途には対応していません。

今后も当社は、高精度な6顿辞贵惯性力センサの开発に取り组み、产业分野の高机能化に贡献してまいります。

主な特长

  • ?40~+110℃と広い动作温度范囲(特に-40~+85℃の温度范囲で优れたオフセット特性を実现)
  • 業界最高レベルの低ノイズ?低ドリフトジャイロ(Typical値:ノイズ密度 0.0004 (°/s)/√Hz、バイアス不安定性 0.3 °/h)
  • 3D MEMSとダブルディファレンシャル構造、パッケージ技術による低VRE(振動整流誤差)
  • 自己诊断机能と厂颁贬16罢シリーズ内でのピン/ソフトウェア互换性

主な仕様

サイズ(L × W × H) 11.8 × 13.4 × 2.9 mm
动作温度范囲 ?40~+110 ℃
ジャイロ バイアス安定性(Typ.) 0.3 °/h
ジャイロ ノイズ密度(Typ.) 0.0004(诲辫蝉)/√贬锄
加速度 ノイズ密度(Typ.) 33 ?g/√Hz

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ムラタについて

村田製作所はセラミックスをベースとした电子部品の开発?生产?贩売を行っている世界的な総合电子部品メーカーです。独自に开発、蓄积している材料开発、プロセス开発、商品设计、生产技术、それらをサポートするソフトウェアや分析?评価などの技术基盘で独创的な製品を创出し、エレクトロニクス社会の発展に贡献していきます。

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