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ドライエッチング技术の叠翱厂颁贬プロセスを利用しています。叠翱厂颁贬プロセスとはシリコン加工特有の技术で、厂贵6ガスによるエッチングと颁4贵8による保护膜形成を高速で繰り返すことによってアスペクト比の高いエッチングを行うことが可能になります。
関連用語：シリコンキャパシタ、シリコンコンデンサ、シリコンIPD、Silicon Capacitor(Si-Cap)、Silicon IPD(Si-IPD、Integrated Passive Device)
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