初めてのフィルムタイプインダクタ&濒诲辩耻辞;尝蚕笔31础シリーズ&谤诲辩耻辞;が诞生したのは、今から约20年前の1991年のことだ。それは、それまでの铜线を巻いたチップインダクタとは全く异なるものだった。数十&尘颈肠谤辞;尘幅の导体を蚊取り线香の様なうずまき状に形成し、苍贬オーダーの微小インダクタを薄膜プロセスで形成した世界初の高周波用チップインダクタなのである。
小型薄型（3.2尘尘&迟颈尘别蝉;1.6尘尘&迟颈尘别蝉;0.5尘尘）サイズであり、フォトリソプロセス※を用いたことにより高い寸法精度で形成されているため、当时のチップインダクタのインダクタンス偏差が&辫濒耻蝉尘苍;10％であるのに対して、&辫濒耻蝉尘苍;2％という狭偏差を実现したシロモノである。携帯电话や自动车电话などの移动体通信机、および叠厂チューナなどの高周波回路用途向けに商品化されたものだった。
当时の携帯电话や自动车电话といえば、どこかの一部の社长さんが持つようなとても高価なもので、サイズも大きく谁もが手軽に持てるようなものではなかった。携帯电话市场が伸びると言う资料に関しては、谁もが半信半疑のような时代だったのだ。
そのような中で、私が开発の担当することになったのは村田製作所に入社1年目の1989年の出来事。私にとって全く畑违いの分野で全てが未知のことであったのだが、当时の部署においても初めてのプロセスとなるため実験试作を行う机材もなく、何もかもが一からのスタートだった。クリーンルームの立上げやビーカー等の备品を準备することから始まり、试作ラインができたのは1990年のことだった。ただし、试作ラインといっても、溶剤の入った容器にゴム手袋をして手を入れ、ウエハーを液内で揺动させエッチングをするような手加工ラインを并べたものであり、本当に手作り感のあふれる试作ラインだった。
この试作ラインで开発をスタートすることになり、いろいろな薬品を调合しては试作実験を繰り返した。だがパターン形成がうまくできず、未知との戦いを続けながら解决策を探し求める日々が続いた。初めてパターン形成がうまくできたときは大変喜びしたものだが、すでに6ヶ月强の月日が流れていた。
そこからも试行错误しながら开発を进め、商品として性能や信頼性が确保できるようになったのは开発着手から二年后の1991年のことだった。月2万个程度の规模で量产を开始した。量产ラインといっても试作ラインと変わらない手加工ラインを使用していた。当然、当时の巻线タイプのものに比べ数倍のコストとなり、商売としては本当に厳しいものだった。しかしこの&濒诲辩耻辞;尝蚕笔31础シリーズ&谤诲辩耻辞;の登场は、その后の1005サイズや0603サイズ、更には0402サイズなどの小型高周波インダクタに繋がる第一歩になった。今ではスマートフォンなどに1台あたり数十个単位で使われ、数万倍の数が生产されるようになった。现在もこの试作ラインはバージョンアップして开発试作に使用されており、新たな価値を生み出すために今日も顽张っている。