3D MEMS (3次元?マイクロ?エレクトロ?メカニカル?システム) は、テクノロジーの革新的な組み合わせで、シリコンを3次元構造に成形し、カプセル化し、装着と組立を容易にするよう連結することにより、優れたセンサ精度、小型のユニットサイズ、低消費電力を実現します。先進センサは微小なシリコン内で組み立てられ、直交3方向の加速度の計測が可能です。
3D MEMSテクノロジーを使って、精密傾斜度センサの最適構造を生み出すことができます。たとえば、加速度センサ内に機械的減衰機能を設けて強い振動を受ける環境で使用する傾斜度センサ、ならびに高分解能高度計です。これらのセンサの必要電力は極めて低く、バッテリー駆動機器内での顕著なメリットが得られます。
3D MEMSテクノロジーを傾斜計の開発に利用すると、角度1分よりも良好なレベルの精度が得られ、最高の水平度要件に対応でき、他のあらゆるMEMSテクノロジーの性能を上回ります。この性能がマイクロアンペア領域の電力消費量と相俟って、無線用途に理想的です。